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氦质谱检测仪

最小可检氦漏率（真空模式）

＜5×10^-12毫巴×升/ 秒（＜5×10^-7 Pa.cm³/s）

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最小可检氦漏率（吸枪模式）

＜5×10^-8毫巴×升/ 秒（＜5×10^-3 Pa.cm³/s）

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最大可检氦漏率，可显示的

0.1毫巴×升/ 秒（1×10⁴ Pa.cm³/s)

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最大进气口压强

GROSS 模式

25毫巴（2500Pa）

FINE 模式

2毫巴（200Pa）

ULTRA 模式

0.4毫巴（40Pa）

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抽空过程中的最大抽速

4.8米³/小时，50Hz

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氦抽速

GROSS 模式

最大8升/秒

FINE 模式

7升/秒

ULTRA 模式

2.5升/秒

7             

漏率讯号的反应时间

＜1秒

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至待用状态需要时间

＜3分钟

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可检质量数

2,3,4   amu,H₂,³He, He

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氦质谱检测仪

He质谱仪

180 ^o磁偏转双聚焦不锈钢质谱室

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离子源

长效双离子源灯丝（镀钇铱丝）三年质保

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校准漏孔TL7(内置)漏率范围

10^-7毫巴×升/ 秒（10^-2 Pa.cm³/s）

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测量单位

毫巴×升/ 秒，帕×米³/秒，乇×升/秒

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测试口

DN25KF

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可调整的触发点

2

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接口

RS232

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输入/输出

PLC兼容，用于控制和状态信息

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图形记录仪输出

2 x 0－10伏线性/对数

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功耗

600W

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电源电压

230伏（±10%）50Hz

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外形尺寸（长×宽×深）

550mm×305mm×425mm

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重量

40公斤

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允许环境温度（运行中）

+10℃……+40℃